3月4日,据上海松江官方发布动静,座落在松江综合保税区的尼西半导体科技(上海)有限公司正式公布,其打造的全世界首条35微米功率半导体超薄晶圆工艺和封装测试出产线已经建成投产,这一冲破弥补了海内相干制造范畴空缺,标记着我国功率半导体超薄晶圆技能迈入范围化量产新阶段。
公然信息显示,尼西半导体建立在2007年,是万国半导体(中国香港)株式会社全资子公司,专注在半导体封装、测试和晶圆制造,产物广泛运用在消费类电子产物范畴,这次投产的产线是其焦点出产基地的主要进级项目。该产线实现工艺与封装测试一体化,厚度仅35微米的超薄晶圆相称在头发丝直径的一半,加工难度极高,此前持久被海外企业垄断焦点技能。
据悉,该产线霸占多项技能难关,将晶圆加工精度节制于35±1.5微米,经由过程化学腐化技能消弭92%的研磨应力毁伤,使极薄晶圆碎片率降至0.1%之内,切割环节采用定制化激光技能,良率达98.5%。产线焦点设备由尼西半导体与海内装备厂商结合研发,实现自立可控,测试环节单日产能可达12万颗制品,键合机单日产能约400片。
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