1月22日,证监会官网披露,江苏邳州半导体装备企业鲁汶仪器于江苏证监局打点上市教导存案挂号。

官网显示,鲁汶仪器致力在为集成电路制造财产提供进步前辈的设备及工艺解决方案,针对于逻辑、存储、功率器件、光学、微显示等范畴的要害工艺道次,研发了业界领先的离子束塑形装备(IBS)、离子束沉积装备(IBD)等,也提供电感耦合等离子体刻蚀装备(ICP)、薄膜沉积装备(CVD),以和气相分化金属沾污网络装备(VPD)等晶圆工艺制造装备与检测装备。

截至 2022 年已经完成 9 轮融资,最新一轮为 2022 年的 E + 轮融资,股东包罗 Leuven Instruments(持股 19.82%,控股股东)。此外,中国科学院微电子研究院也是鲁汶仪器的股东之一,持股2.98%。

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