于全世界半导体财产蓬勃成长确当下，装备市场范围连续扩容，中国年夜陆已经稳居全世界第一年夜市场。然而，繁荣的市场表象下，焦点零部件的国产化依然是制约财产自立可控的要害短板，特别于对于干净度与靠得住性要求极高的湿法制程范畴，要害泵阀持久面对国际垄断。
近日，海内半导体装备焦点零部件范畴传来喜报——槃实科技（深圳）有限公司公布完成新一轮融资，该公司此前已经霸占业内最年夜功率6000W磁悬浮无轴承泵技能难关并实现量产，打破了该范畴长达二十余年的技能壁垒。本轮融资将进一步加快其产能扩充与多范畴财产化结构，为补齐国产高端半导体装备焦点零部件短板提供有力支撑。
槃实科技完成亿元级A轮融资，加快磁悬浮技能财产化槃实科技（深圳）有限公司（如下简称：槃实科技）近日完成为了亿元级A轮融资。本轮融资由海通立异、深圳本钱集团、招银国际、深担创投结合领投，宇杉本钱、老股东基石本钱坚定跟投。
这次A轮融资为槃实科技开启了加快成长的新征程，该公司规划扩展半导体范畴磁悬浮无轴承泵的产能，以满意日趋增加的市场需求。同时，加快推进磁悬浮技能于生物制药及医疗器械等多范畴的财产化进程，为行业带来更高效、更优质的解决方案。
资料显示，槃实科技自2019年景立以来，便聚焦磁悬浮这一高壁垒、高价值赛道，专注在磁悬浮技能运用在对于干净度、精准度、靠得住性有极致要求的工业场景，如泛半导体、生物医学及邃密化工等范畴。
依附一支会聚海内外高端人材的焦点团队，槃实科技构建起差异化竞争上风。开创团队源自瑞士洛桑联邦理工年夜学，焦点成员涵盖磁悬浮技能专家、财产深耕者和国度级高条理人材，依托产学研深度交融的资源上风，实现了从技能研发到贸易化落地的高效闭环。
槃实科技焦点产物磁悬浮无轴承泵经由过程磁悬浮无轴承机电技能，替换传统机械轴承，转子与泵壳无接触高速扭转，防止了机械磨损与污染。今朝已经率先霸占业内最年夜功率6000W磁悬浮无轴承泵的研发和量产难题，同时完成从30W到6000W全系列主流型号的产物开发及量产，可满意差别运用场景的定制化需求。产物拥有超干净、无磨擦、低剪切力、流量精准平稳等上风，可精准适配泛半导体、生物医学、邃密化工等运用范畴需求，不变靠得住的机能已经得到业内客户的广泛承认，进一步巩固了公司于国产替换进程中的焦点职位地方。
槃实科技已经结构焦点专利130余项，拥有约6000平方米的研发和出产空间。依附强盛的技能实力，公司荣获国度级高新技能企业认定，入选了工信部《2024年将来财产立异成长优异典型案例》“标记性产物”、广东省名优高新技能产物榜单，还有荣获了“深圳市种子独角兽企业”及深圳市“专精特新中小企业”等声誉，于行业内树立了卓着的品牌形象与优良口碑。
半导体湿法制程呼喊“无接触”厘革，磁悬浮技能直击行业痛点半导体系体例造对于情况干净度、节制精度要求极高，传统的机械传动（如滚珠轴承、机械轴封）于高速扭转时会孕育发生微小的磨损颗粒，这些颗粒一旦落于晶圆上，芯片就会报废。磁悬浮技能作为一种无接触的运动方式，依附无磨擦、生命周期更长、能效更高、定位精准等显著上风，可以有用解决上述难题。
当前，磁悬浮技能重要用在半导体系体例造历程中的湿法工艺范畴， 该范畴涵盖洗濯、刻蚀、CMP、光刻胶去除了与电镀五年夜焦点功效，需使用各类化学液体或者去离子水对于晶圆外貌举行处置惩罚。于此场景下，磁悬浮无轴承泵依附其怪异的物理机制，降服了传统机械泵浦于进步前辈制程中的局限性，成为晋升湿法装备机能的要害技能。
磁悬浮无轴承泵技能焦点于在使用磁场力将叶轮彻底悬浮在泵腔以内，实现了真实的“无接触”扭转。这类设计带来的首要厘革即是极致的纯净度。因为摒弃了机械轴承及接触式密封，泵体内部消弭了磨擦源，从而杜绝了颗粒物的孕育发生。于对于干净度要求苛刻的洗濯与湿法刻蚀工艺中，这类零颗粒天生的特征直接转化为晶圆良率的显著晋升，使患上芯片制造商可以或许更有底气地挑战物理极限。
磁悬浮技能还有从头界说了装备的运行效率与安全性。采用全关闭的一体化泵壳设计，使患上这类泵具有了极高的气密性，完全阻断了强酸、强碱等伤害化学液外泄的路径。更为要害的是，无磨损的物理特征象征着泵体于理论上拥有极长的利用寿命。对于在争分夺秒的晶圆厂而言，这年夜幅削减了因改换密封件或者轴承而致使的停机维护时间，保障了产线的持续运转能力，从而于长周期的出产中显著降低了运营成本。
此外，磁悬浮无轴承泵于处置惩罚非凡流体时也揭示出了怪异的上风。于半导体工艺中，部门化学液如CMP研磨液或者感光乳剂对于剪切力极端敏感，传统泵的高速机械搅拌轻易粉碎其物理布局，致使药液掉效或者凝结。磁悬浮泵凡是采用宽流道设计，可以或许提供低剪切力的暖和运送，确保了敏传染感动学液于轮回历程中连结特征不变，进而保障了工艺的一致性。
综上，磁悬浮无轴承泵经由过程消弭机械磨擦、实现静态密封以和提供低剪切运送，解决了半导体湿法制程中关在颗粒节制、走漏防护和流体不变性等焦点技能挑战，是支撑进步前辈制程高良率与高稼动率的主要装备组件。
结 语依附于磁悬浮无轴承泵技能上的深挚积淀与对于行业痛点的精准解决，槃实科技不仅得到了半导体行业头部企业的认证，实现了批量运用，更得到了浩繁一线投资机构的坚定注资，这类技能+市场的两重验证，为公司下一步的战略进级奠基了坚实基础。
正如槃实科技开创人崔庆文博士所言，磁悬浮技能的财产价值及远景很是广漠。槃实科技不仅致力在成为焦点部件的供给商，更立志成为“新质出产力”的赋能者。
瞻望将来，槃实科技将继承以立异为驱动，深化“技能复用”模式，将磁悬浮技能的运用界限从泛半导体加快拓展至生物医药和高端医疗器械（如磁悬浮体外轮回血液泵）等要害范畴。 于浩繁优质机构的撑持下，槃实科技有望安身深圳、走向世界，于国产化替换的蓝海中乘风破浪，为鞭策中国高端制造行业的成长孝敬坚实气力。
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